연 혁

AFT History

현재 ~
2023

2025년

• SK Hynix업체 등록

2024년

• NextRise 2024 참가
• SEMI-F47, SEMI-S2 인증 획득
• ISO 4500 인증 획득
• SK Hynix에서 TMIEC 오존 제너레이터 수리평가 완료

2023년

• NextRise 2023 참가
• 소재.부품 장비 전문기업확인서 획득
• 제조공장 확장(동 건물 3층)
• 대유량, 고농도 오존 제너레이터 개발 시작
• 마이크론에서 TMIEC 오존 제너레이터(OG-250) 수리평가 완료
• SK Hynix에서 AFT오존 시스템 공정 평가 완료

2022 ~
2020

2022년

• SK Hynix에서 N2 Free 오존 시스템 평가 시작
• ISO 14001, ISO 9001 인증 획득

2021년

• N2 Free오존 셀(Ozone Cell) 설비 사 주성엔지니어링에서 검증 완료

2020년

• 오존 셀(Ozone Cell) – TSMC검증 완료
• N2 Free오존 셀 개발 시작
• 오존 수 공급장치 공동 계발 완료

2019 ~ 2017

2019년

• 오존 제너레이터 국산화 – 서울대학교, 포항공대, 충남대학교에서
  검증 완료
• 오존 수 공급장치 공동 개발 시작(국내 “S”사)

2018년

• 오존 셀(Ozone Cell) 국산화 – Micron, UMC, SONY, Global Foundries, SMIC,
  Winbond and Toshiba에서 검증 완료

2017년

• 창립