AFO10000
Overview
AFO10000시리즈는 고농도, 대유량에 적합한 모델로, CVD, ADL, Photoresist strip, Wafer Cleaning등의 반도체 공정 및 살균, 소독 세척 등 산업용으로도 사용이 가능합니다. 최대 14셀까지 장착이 가능하며, N2없이 사용이 가능합니다.
Technical Specs
타입
고농도 대유량 오존 제너레이터
출력농도
약 330g/Nm3
산소유량
5-40LPM
필요 가스 순도
산소 99.9999%이상, 질소: 99.999%이상
컨트롤
아날로그 25 PIN D-SUB 리모트 컨트롤 및 전면 판넬 수동 컨트롤
동작 셀 압력
20 – 35psig
필요 냉각수 온도
17℃ +,- 1 ℃
필요 냉각수 사양
불순물 100마이크론 이하, 비저항 ≥ 50KΩ/cm
필요 냉각수 유량
0.4 – 2.5gpm(셀 수량에 따라 다름)
필요 전원 사양
3상 208VAC(+,- 10%), 1.5A - 21A(셀 수량에 따라 다름)
사용 주파수
50/60 Hz
사이즈(W*H*D)/mm
480 X 410 X 266
인증서
CE, SEMI S2
특징
N2 Free, 최대 14셀 장착 가능
<정면>
<후면>
<측면>
<정면>
<후면>
